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晶體表面油污檢測(cè)及處理方案
晶片表面有油污，很難以檢測(cè)到，即便用KLA也難以判斷，這主要是有檢測(cè)原理決定的。有污染的晶片若被應(yīng)用的外延，就會(huì)嚴(yán)重影響到LED的品質(zhì)，使成品率下降。所以，如果要排除污染，就必須有一個(gè)專(zhuān)業(yè)的設(shè)備進(jìn)行探測(cè)與判斷。
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